咨询热线

13601259708

当前位置:首页  >  技术文章  >  真空镀膜机为什么要安装水汽深冷捕集泵

真空镀膜机为什么要安装水汽深冷捕集泵

发布时间:2022-06-06      点击次数:437
  在高真空环境中,都存在有一定的残余气体。由于水分子量比氧气,氮气等空气主要成分的分子量都小,因此,无论是油扩散泵还是分子泵,都无法迅速,有效地将其抽出,故而越积越多,最后成为占残余气体65%~95%以上的剩余气体;
  同时,由于真空泵在使用过程中不可避免的会产生泵油蒸发现象,会有少量油蒸汽进入真空系统。
  由于水蒸气和油蒸汽的存在,导致真空系统无法迅速达到客户使用所需的真空度,导致抽真空时间变长,生产效率下降,所需真空度越高,环境湿度越大,影响越明显。
  同时,水蒸气,油蒸汽的存在,会导致膜层牢固度下降,无法多层镀膜,颜色不均一等。
  水蒸气在某些条件下还会电离,产生氧气,使靶材氧化,导致镀膜颜色发生变化。环境湿度越大,温度越高,所需真空度越高,影响越大。 因此,水蒸气,油蒸汽是真空镀膜领域及高真空获得领域的主要危害气体。
  水汽捕集泵能将一个能到-120℃以下的制冷盘管,放置在真空室中或油扩散泵的泵口,通过其表面的低温冷凝效应,迅速捕集真空系统的残余气体。从而大大缩短抽真空的时间(可缩短60-90%的抽气时间)、获得洁净的真空环境
  深冷水汽捕集泵配套真空镀膜机,真空镀膜系统种类繁多,无论何种真空镀膜系统都需要一套深冷水汽捕集泵,水气分子容易被气体污染,深冷水汽捕集泵可把水气分子凝结在超低温表面上,快速地从真空系统中捕集和抽除水气分子,能缩短 20% ~ 75%的抽真空的时间,缩短工作周期,提高产量和品质。
联系方式

邮箱:1142649580@qq.com

地址:北京市海淀区采石路5号1号楼2257室

咨询热线

010-59777156

(周一至周日9:00- 19:00)

在线咨询
  • 微信公众号

  • 销售微信

Copyright©2022 北京长流科学仪器有限公司 All Right Reserved    备案号:京ICP备05015461号-2    sitemap.xml
技术支持:化工仪器网    管理登陆

京公网安备 11010802036813号