在高真空环境中，都存在有一定的残余气体。由于水分子量比氧气，氮气等空气主要成分的分子量都小，因此，无论是油扩散泵还是分子泵，都无法迅速，有效地将其抽出，故而越积越多，最后成为占残余气体65%~95%以上的剩余气体；
同时，由于真空泵在使用过程中不可避免的会产生泵油蒸发现象，会有少量油蒸汽进入真空系统。
由于水蒸气和油蒸汽的存在，导致真空系统无法迅速达到客户使用所需的真空度，导致抽真空时间变长，生产效率下降，所需真空度越高，环境湿度越大，影响越明显。
同时，水蒸气，油蒸汽的存在，会导致膜层牢固度下降，无法多层镀膜，颜色不均一等。
水蒸气在某些条件下还会电离，产生氧气，使靶材氧化，导致镀膜颜色发生变化。环境湿度越大，温度越高，所需真空度越高，影响越大。 因此，水蒸气，油蒸汽是真空镀膜领域及高真空获得领域的主要危害气体。
水汽捕集泵能将一个能到-120℃以下的制冷盘管，放置在真空室中或油扩散泵的泵口，通过其表面的低温冷凝效应，迅速捕集真空系统的残余气体。从而大大缩短抽真空的时间(可缩短60-90%的抽气时间)、获得洁净的真空环境
深冷水汽捕集泵配套真空镀膜机，真空镀膜系统种类繁多，无论何种真空镀膜系统都需要一套深冷水汽捕集泵，水气分子容易被气体污染，深冷水汽捕集泵可把水气分子凝结在超低温表面上，快速地从真空系统中捕集和抽除水气分子，能缩短 20% ~ 75%的抽真空的时间，缩短工作周期，提高产量和品质。
