在真空系统中，水蒸气是影响抽真空装置抽气速度比较大的障碍，水汽深冷捕集泵可以快速有效捕捉系统残余空气中65%到95%的水蒸气，减少抽水蒸汽所耗费的时间，效率高达80%。若在现有的抽真空系统中加装深冷捕集泵，可以增加生产能力30%到100%，还能改善镀膜品质。
在高真空环境中都存在着一定的残余气体，65%~95%是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽，但机械泵抽除残余气体的能力差，时间长，而且残余气体是典型的副作用的污染气体，是工件的污染源，从而使产品的产量和质量受到影响。水汽深冷捕集泵则是解决这类问题的上佳选择。
在真空系统中，水蒸气是很大的污染源，因此在要求更高的镀膜品质中，若能得到更低的蒸汽分压，可以增强膜层的附着性能，提升镀膜品质，在蒸镀各类装饰材料过程中避免出现色差，在塑胶基板蒸镀过程中可使角落表面呈均匀平整状态。
深冷水汽捕集泵为何能加快高真空装置的抽气速度并提高真空度?
将一个温度极低的深冷盘管放置在真空腔室内或者油扩散泵口，根据气体的低温冷凝效应，可以迅速使真空系统中的水蒸气及其它气体凝结在深冷盘管上，由此可以快速达到降低真空腔室内气压的效果，大幅度减少抽真空的时间，同时可使真空度提高半个到一个数量级，因而大大提高生产效率，节约生产成本，所以被称为真空业界的好帮手，真空镀膜系统的节能先锋。
